近日，日立发布新型场发射扫描电子显微镜(fe-sem)全新品牌regulus®系列。

此次发布的机型包括作为su8010的后续机型开发的regulus8100以及su8200系列的升级regulus8220 regulus8230 regulus8240，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。

本次发布的新品牌regulus系列电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kv时分辨率较前代机型提高了约20%。regulus8220/8230/8240达到0.9nm，regulus8100为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。

除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。

主要特点：

搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪

跟前代机型相比分辨率大约提高了20%

(regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kv，regulus8100：1.1 nm/1 kv)

最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1

用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来

编辑点评

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