浙江省计量院是依法履行计量检定和产品质量监督检验职能的公益类科研事业单位。近日，浙江省计量院“扫描探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核，建立了全国首个纳米计量领域社会公用计量标准。

扫描探针显微镜(scanning probe microscope，spm)是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜(原子力显微镜afm，激光力显微镜lfm，磁力显微镜mfm等等)的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。

目前，浙江省计量院已具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力，可为半导体企业、精密加工中心的关键尺寸测量提供量值溯源至国家基准的途径，更加全面准确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测提供技术保障。

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