佳世达集团罗升企业旗下资腾科技(standard technology corporation)参加semicon china 2024展览，展示多项协助优化半导体制程的创新产品，如超洁净金属气体过滤器、超高精度光阻涂布泵等。该展览于3月20日至22日在上海新国际博览中心举行，资腾科技的展位位于n3馆3145号。资腾科技总经理陈国荣表示，因应全球esg、第三代半导体等趋势需求，今年资腾科技将展示一系列针对半导体制造行业的创新产品，旨在提高制程效率、减少环境负荷，并支持产业的永续发展。以下是其中几项亮点产品：

1.超洁净金属气体过滤器：次世代奈米工厂必备，金属烧结微米级不锈钢(sus 316l)短纤维制成薄层金属膜过滤器，皱褶状设计增加过滤面积。专为load lock chamber排气过滤而设，缩短排气时间，提高机台5-8%的稼动率。

2.超高精度光阻涂布泵：适用于半导体黄光制程光阻涂布，以及其他需要精确控制药液喷吐量的应用场景。几乎零药液浪费，可与半导体设备(如svg、dns、tel、susstech、evg等)匹配使用。提供气缸式和马达式控制，稳定性高且寿命长。资腾提供在地实时服务支持。

3.非接触型涡漩式吸笔：资腾自主研发，利用伯努利原理吸取薄片晶圆或是光学组件，避免晶圆或是光学组件表面刮伤，提高晶圆传送效率和稳定性。具有客制化和价格优势，目前已有sic与光学组件厂客户销售实绩。

资腾科技充分考虑大陆市场特性和全球趋势，针对esg、第三代半导体、新建晶圆厂和设备国产化等领域提出不同的解决方案。通过强大的产业实践经验和技术能力，与合作伙伴携手，共同促进半导体产业的创新未来。

【展览信息】

semicon china 2024

展览时间：2024年3月20-22日 09:00am - 5:00pm

地点: 上海新国际博览中心

资腾展位: n3馆booth: 3145(靠近3号entrance)

（来源：资腾科技）

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