国内首条12英寸先进传感器研发中试线在上海成功通线

继全国首条8英寸mems研发中试线落地上海嘉定工业区后，近日，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条12英寸先进传感器研发中试线，也在嘉定成功通线。

该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3d集成技术的核心工艺能力，可提供产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。

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