近日，易度仪器仪表有限公司宣布，其自主研发的通用型层流质量流量计系列产品通过中国计量科学研究院的计量器具型式评价试验，获得中国首个层流质量流量计计量器具型式批准资质证书（简称：cpa证书）。

一直以来，小微气体、液体流量的精确测量和控制被西方发达国家技术垄断，这项技术在众多高端制造领域，包括半导体、生物制药、新材料等都属于重要核心技术。聚焦用户过程控制，半导体300多项关键工艺中，有光刻、气相沉积、单晶生产等超过70%的工艺项点都与微流量测量相关；石墨烯等新材料的生产制造过程中，最常用的方法增强等离子的化学气相沉积，也需要精准配给气体和液体；等离子体发动机作为未来航天发展方向，在生产制造工艺和地面测试环节，需要精确测量小于1ml/min稀有气体的质量流量，这是等离子体发动机稳定工作的关键测试工艺。

面对国外技术封锁，自2011年开始，易度仪器遵循概念论证—关键技术验证—方案验证—原理样机—工程样机—产品样机—产品的技术路线，通过自主创新探索微流量测量领域。当时，在这一领域有两条技术方向：一是以传热学原理为基础的热式质量流量计，主要由欧美日的六七家公司占据全球绝大部分市场，是技术的主流，技术成熟度较高，但国内一直无法掌握热式传感器这一技术核心；另外一条是以“哈根泊肃叶定理”为基础的层流质量流量计，其核心的层流传感器研发由于技术难度更高，制造工艺极为复杂，让那些生产热式质量流量计的国际顶级厂商也望而却步。

几十年来，全球范围内唯一取得重大层流技术突破的只有一家美国公司，但离实现大规模商业应用还有不小的距离。最终，考虑到热式技术已趋于成熟，发展空间趋于饱和，在充分调研后，易度仪器选择了更加先进，拥有广阔技术发展空间，但技术门槛更高的层流质量流量计技术路线，开始专注于攻克核心技术——“通用型层流传感器”的研发。

易度仪器成功研发出的层流质量流量计和控制器，不仅能实现对气体和液体质量流量的测量，还能精准控制，是国内第一款自主研发的层流原理数字化产品。经过无数次技术改进，产品正日趋成熟，实现了在-20到70摄氏度环境下的正常使用，精度控制在1.0级以内，重复性0.1%，响应时间达到0.01s。目前该项技术已获国家发明专利两项，同时在全球pct检索中具有新颖性。在国内，也只有易度公司掌握了通用型层流测控技术，产品经过国家最高权威机构的验证，成为中国首家通过认证的通用型层流质量流量计生产商。

编辑点评

小微气体、液体流量的精确测量和控制被西方发达国家技术垄断。打破技术枷锁，易度仪器成功研发出的层流质量流量计和控制器，目前该项技术已获国家发明专利两项，同时在全球pct检索中具有新颖性。

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