根据《中国液压气动密封件工业协会标准化工作管理办法》有关规定，经专家评审，同意《超洁净磁悬浮泵》、《超洁净气动波纹管泵》、《半导体制程设备聚合物材料过流部件污染物及表面粗糙度检测》团体标准立项。

请起草单位按照相关政策法规要求抓紧组织实施，严格把控标准质量，切实提高标准制定水平，遵循标准的科学性、适用性和可操作性的原则，按期完成标准编制相关工作。

相关资料下载：

关于《超洁净磁悬浮泵》等三项团体标准立项的通知.pdf

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