据麦姆斯咨询报道，近日，领先的微机电系统（mems）和传感器代工厂micralyne在日本“mems传感和网络系统展会”上展示了用于开发下一代气体传感器的mems技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新平台扩展了micralyne现有的标准mems模块，并为设计人员提供了实现当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。

集成微型加热板的金属氧化物气体传感器，芯片尺寸为1.6mmx1.6mm

金属氧化物气体传感器组件

气体传感器市场正在发生巨大变化，主要由大量的消费类应驱动发展，例如应用于物联网领域的各种智能家居和可穿戴设备，实现周围环境空气质量的监测。现有的气体检测技术正在经历新的技术挑战，如成本大幅下降、功率低、选择性提高、不同类型的气体检测，以及较宽的工作温度。

“micralyne已经看到了亚太地区客户对小型气体传感器的需求增长，为了加速客户的产品设计，我们开发了一套标准工艺，可以快速实现气体传感器的量产，这主要得益于我们在气体传感结构方面的丰富经验，以及十多年的薄膜流量传感器的量产经验。”micralyne技术副总裁collin twanow说道，“我们很高兴能够与日本合作伙伴adamant一起展示mems技术平台。”

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