开发品对轴承部分的吹气构造作了改进，高速旋转时（2万rpm）的异步振摆精度值（nrro）控制在了0.005μm以下（实际测量值），为原来的1/2，系“业界最高”（该公司）。还通过采用低发热构造，将加工时工件面的位置移动控制在了1μm 以下，只有原来的1/3左右。

通过采用可避免真空夹头部吸入的研削液流入空气主轴内部的防逆流构造，以及使用非接触密封件的吹气构造，提高了防尘防水性。使其能够更加稳定地运转。

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