由南京大学和中科院上海光学精密机械研究所共同承担的国家863计划课题“zno基短波长激光器若干关键技术研究”取得重要突破。
该课题组经过三年时间上千次的材料生长和工艺实验,在国际上首次研制成功zno基同质pn结发光器件(led),在室温(29℃)下实现了蓝光、黄光发射。该成果突破了用于zno系材料生长的有机化学气相沉积(mocvd)设备、zno单晶制备、zno薄膜材料生长和掺杂、欧姆接触等一系列材料器件技术难题,形成了zno单晶衬底技术、zno金属mocvd系统技术、zno材料的mocvd同质外延技术和zno p型掺杂原位控制及激活技术等多项具有自主知识产权技术,是继日本东北大学在铝镁酸钪衬底上用分子束外延方法研制成功zno基led后的一项重大科技研究成果,标志着我国已成功进入zno发光器件这一前沿战略高科技领域的国际领先行列。
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