近日召开的中国科协科技期刊月度研讨会上，由哈尔滨工业大学电磁与电子技术研究所寇宝泉教授、李立毅教授、张赫博士撰写的论文《集成绕组结构短行程直流平面电机》被重点推介。该论文提出了一种可应用于光刻机超精密工件台的平面电机新型结构。

与会专家表示，这种基于音圈电机运行原理的平面电机新结构，可以实现高精度、高频响的定位运动，在光刻机超精密工件台的应用领域具有很高的研究价值。这一新发现，对我国光刻机及其关键配套部件的研制具有重要意义，将加快推进我国集成电路（ic）产业的自主化进程。

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