手机版    二维码   标签云  厨具企业大全

南大光电:国内第一只国产arf光刻胶认证通过

2024-05-12 01:51:14 来源:机电之家网 作者/编辑: 浏览次数:8942 手机访问 使用手机“扫一扫”以下二维码,即可分享本文到“朋友圈”中。

光刻胶材料作为集成电路制造领域的重要关键材料,是一种有机化合物,经过紫外光、电子束等照射,光刻胶得到曝光,化学性质发生改变,经过显影液的洗涤,图案会留在衬底上。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被干燥成胶膜。

因为该产品属于集成电路制造领域的重要关键材料,由于技术壁垒和客户壁垒高,全球光刻胶市场集中度高,市场被美日公司长期垄断。日本的jsr、东京应化、信越化学及富士电子四家企业占据了全球70%以上的市场份额,处于市场垄断地位。

按不同制程,光刻胶可分为euv光刻胶、arf光刻胶、krf光刻胶及g线、i线光刻胶,前三者均为高端光刻胶产品,产业信息网数据显示,截至2019年国内在g线/i线光刻胶仅达到20%自给率,而krf光刻胶自给率不足5%,arf光刻胶则完全依赖进口。

但日前,机电之家网获悉,江苏南大光电材料股份有限公司发布公告称,公司控股子公司宁波南大光电材料有限公司自主研发的arf光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。这标志着“arf光刻胶产品开发和产业化”项目取得了关键性的突破,成为国内通过产品验证的第一只国产arf光刻胶。据了解“arf光刻胶产品开发和产业化”是宁波南大光电承接国家“02专项”的一个重点攻关项目。

江苏南大光电材料股份有限公司表示本次通过客户认证的产业化意义大。本次验证使用的50nm闪存技术平台,在特征尺寸上,线制程工艺可以满足45nm-90nm光刻需求,孔制程工艺可满足65nm-90nm光刻需求,该工艺平台的光刻胶在业界有代表性。但同时arf光刻胶的复杂性决定了其在稳定量产阶段仍然存在工艺上的诸多风险,不仅需要技术攻关,还需要在应用中进行工艺的改进、完善,这些都会决定arf光刻胶的量产规模和经济效益。公司将及时根据后续进展履行信息披露义务,敬请广大投资者注意投资风险。

来源:机电之家网

以上是网络信息转载,信息真实性自行斟酌。

 
本条标题:南大光电:国内第一只国产arf光刻胶认证通过
本条信息网址:
文本助手 资讯搜索 分享好友 打印本文 关闭窗口
阅读关键词
  • 手机浏览本文

    手机应用中扫描本文二维码,即可浏览本文或分享到您的社交网络中。

  • 微信公众号

    扫描二维码,关注中华厨具网微信公众号,实时了解行业最新动态。

版权/免责声明:
一、本文图片及内容来自网络,不代表本站的观点和立场,如涉及各类版权问题请联系及时删除。
二、凡注明稿件来源的内容均为转载稿或由企业用户注册发布,本网转载出于传递更多信息的目的;如转载稿涉及版权问题,请作者联系我们,同时对于用户评论等信息,本网并不意味着赞同其观点或证实其内容的真实性。
三、转载本站原创文章请注明来源:中华厨具网

0相关评论
今日热点文章更多
品牌聚焦更多
推荐品牌更多
热门频道
关闭广告
合作伙伴:
中华厨具网 鲁ICP备2021046805号         鲁公网安备 37162502000363号 (c)2018-2026SYSTEM All Rights Reserved 投资有风险 加盟需谨慎
关闭广告
关闭广告