佳能开发出了采用mems技术制造的氢气供给装置，并在2004年11月29日～30日于京都举行的“powermems 2004”上进行了发表。应用对象为数码相机等便携设备上的燃料电池。

氢气供给装置的作用是将储藏罐里高压保存的氢气释放出所需要的量，降到1个大气压后供应给燃料电池。其结构与潜水呼吸装置上使用的氧气调节阀等一样、非常普通（佳能）。通过mems技术将外形尺寸缩小到8mm×8mm×1mm。

氢气供给装置采用将厚约300μm的硅单晶片进行3层叠加的结构。与氢气泵等相连的最下层单晶片上带有开关，氢气由此进入，并通过中间层单晶片形成的通道进入到最上层单晶片，由最上层单晶片的孔穴供应给燃料电池。先对最上层单晶片进行加工，再与中间层单晶片进行层叠加工，最后与最下层单晶片层叠加工。

最下层硅单晶片上安装的氢气导入开关直径250μm。通过开闭这个开关来调整氢气供应量。在发布时只公布了使用氮气能正常工作的结果，但据说用氢气进行试验时也得到了同样结果。

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