日本精工日前成功开发出了在真空和气雾等特殊环境下仍可完成旋转定位的“特殊环境用直接驱动马达”。在结构上采用将直接驱动马达装配在很少产生灰尘和气体的轴承上的方式。该马达配备了可通过检测转子位置进行高精度旋转定位的装置。

在普通气雾方面，配置马达定子和旋转位置检测器；在特殊环境方面，则隔着一层薄壁配置旋转的转子部分。因为即使没有传动装置，也能在不同的环境之间直接传导动力，所以能够高速地进行高精度定位。在设计上，采用了使引发气体产生的马达定子和电线等均不暴露在特殊环境中的方式。

除能够对位于同轴上的2个轴分别独立地进行转动和定位外，还能够使之同步运行。尺寸方面，外径为270mm，高为100mm。最大扭矩为12nm，旋转位置检测器分解能为每转200万脉冲以上，具有最高速度为1.0转/秒的性能。

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