日本精工开发出面向半导体晶圆搬送机器人的轴承——“真空无尘环境用高清洁度轴承”，并将于2006年4月上市角接触球轴承、四点接触球轴承和向心球轴承3种产品。该公司2004年上市了“真空无尘环境用n系列薄壁轴承”，与此前产品相比该产品的脱气和微尘较少，而且润滑油的耐久性也较高，此次的产品进一步降低了脱气，提高了耐久性能。

作为发生脱气的原因，首先就是使用有机溶剂进行清洗时残留在轴承表面的油污，以及残留在封装上的润滑材料等有机物。其次，润滑剂也会产生脱气。

新产品则采取了如下对策：（1）采用溶解力强的超纯水进行精密清洗；（2）开发出了新型封装；（3）触球轨道面采用了处理低蒸汽压碳氢化合物油烧制膜的“e-dfo”。这样一来，将附着在轴承上的残留有机物减少到了此前的大约1/5，同时将脱气减至此前1/5，耐久性能提高至此前5倍。

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