意法半导体(stmicroelectronics)在2006年10月3日于日本幕张messe会展中心开幕的“ceatec japan 2006”上,展出了封装尺寸为3mm×3mm×1mm的小型压力传感器。通过在结构上下功夫,提高了耐压性能。具体来说,就是将作为传感器元件的薄膜与其后部的主体间隔缩小到了2μm。即使向传感器元件施加很大压力,薄膜也不会产生2μm以上的变形,因此薄膜本身不易损坏。
设想用途包括嵌入手机与手表等产品的气压计、高度计、gps装置、血压计、空调和除尘器的气体控制等用途。测定范围为0.3~4个大气压。灵敏度为70mw/气压,在测定范围内非线性为-0.5%。
为了进行演示,此次准备了内部装有传感器的注射器。推拉注射器的活塞,气压的时间变化图和注射器的动态图像就会显示电脑显示器上。
该公司提供的压力传感器共有3种。“lps004c”以裸芯片方式供货,芯片尺寸为1mm×1mm× 0.3mm。“lps004cl”在h-lga封装中只封装了传感器,外形尺寸为3mm×3mm×1mm。这2种产品现已开始供应样品,定于2007年初投入量产。最后一种是采用数字输出方式的“lps004dl”,除传感器外还配备了放大器及数字接口电路等asic。外形尺寸为5mm×5mm×1mm。定于2007年第2季度开始供应样品。
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