三菱电机开发出了可高速加工小径孔的放电加工机“超高精度微细孔放电加工机（vh10＋fh电源）”，2006年12月1日上市。该设备在现有放电加工机上配备了新电源，提高了加工速度。

所配电源为以水为加工液的fh电源。将直径0.15mm以下的微细孔的加工速度提高到了现有发电加工机的1.5～2倍。比如，在厚0.8mm的钢板上钻直径为0.08mm的微细孔时，新放电加工机的加工时间约为25秒。而现有放电加工机则需要40～50秒。新放电加工机的加工精度为±2μm，高于目前的±4μm。

设想用于加工电子部件和光学部件的微细模具部件以及在汽车和飞机部件上钻微细孔。

各轴的移动量为x軸350×y軸250×z軸350mm。加工槽的尺寸为x軸530×y軸525×z軸220mm。可加工的最大工件尺寸为500×495×115mm，可加工最大工件重量为100kg。支持的电极直径为0.03～0.12mm。

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