近悉，位于上海金桥出口加工区的中微半导体设备（上海）有限公司经过三年半的不懈努力，开发、制造出了具有独立知主知识产权的、达到国际先进工艺水平的12英寸等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备。这是中国半导体加工设备首次进入国际市场，对我国大力发展半导体加工装备具有重要意义。
以上是网络信息转载，信息真实性自行斟酌。
2024-05-13 11:50:05
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近悉，位于上海金桥出口加工区的中微半导体设备（上海）有限公司经过三年半的不懈努力，开发、制造出了具有独立知主知识产权的、达到国际先进工艺水平的12英寸等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备。这是中国半导体加工设备首次进入国际市场，对我国大力发展半导体加工装备具有重要意义。
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