近日，从我国首条非硅微机电中试生产线的诞生地——中国兵器工业集团山西北方惠丰机电有限公司传来喜讯，在该公司和西安机电信息研究所、北京理工大学、上海交通大学等院所的强强联合下，经过了广大科技人员历时3个多月的工艺开发，试制工作取得了阶段性突破，通过采用非纳米技术和国际尖端的三维半导体微细加工工艺，生产出了产品样品，填补了国内空白。

微机电系统是微米大小的机械系统，包括不同形状的三维平板印刷产生的系统，属于国内领先、国际一流的高新技术项目。非硅微机电中试生产线为国家专项投资，于2006年奠基，2007年竣工。

据悉，此次生产试制出的样品与原部件相比体积缩小了七分之一，尺寸和精度均达到了设计要求，替代了传统的机械部件，创新了设计思路和加工方法，实现了工艺创新的新跨越、新突破。同时，该项技术还可拓展到产品制造、汽车安全、生物医学等领域的高端制造，市场前景和经济效益十分看好，是公司走出“红海”、超越“蓝海”、驶向“深海”的创新实践。（李红兵 巩育强）

来源:中国兵器

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