近日，中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）宣布，中国福建省高级人民法院同意了中微针对维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（以下简称“veeco上海”）的禁令申请，该禁令禁止veeco上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵犯中微第cn 202492576号专利的任何化学气相沉积装置和用于该等装置的基片托盘。该禁令涵盖turbodisk epik 700、epik 700 c2 和epik 700 c4机型的mocvd设备，以及在该等mocvd设备中使用的基片托盘。中微认为veeco epik 868机型mocvd设备的旋转轴和基片托盘锁定同步装置也使用了中微涉案专利技术，因此该裁定也涵盖了veeco的epik 868机型及在该设备中使用的基片托盘。

该禁令立即生效执行，不可上诉。这一严格的禁令充分表明，veeco上海公然侵犯了中微的知识产权， veeco上海不尊重中微的知识产权。

今年7月，中微向福建高院正式起诉 “veeco上海”，指控其turbodisk epik 700型号的mocvd设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。

在中微起诉后，veeco上海对该涉案的中微专利向专利复审委提起无效宣告请求；与此同时，还有一位自然人也对该涉案专利提起无效宣告请求。针对涉案专利的两个无效宣告请求，专利复审委先后分别开庭审理，双方代理人进行充分答辩，专利复审委于今日对两个无效宣告案分别作出了审查决定，均确定认中微专利为有效专利。

中微为这项关键技术投入了大量的研发费用和知识产权保护。中微率先开发了这项技术、布局了一系列相关专利申请保护其创新性并在mocvd设备上应用了这项技术，中微mocvd设备已在国内众多led生产线上投入量产。veeco美国公司之后跟随中微的步伐在其mocvd设备中采用相同的锁定同步技术以提高设备性能。veeco美国公司针对中微该已获专利授权的锁定同步技术也提交了相近的专利申请，并使用于其产品上，由此侵犯了中微的专利权。

不过值得注意的是，veeco 也没有坐以待毙，就在11月2日，veeco 美国宣布，美国纽约东区地方法院同意了veeco公司针对sgl carbon，llc（sgl）的一项初步禁令请求，该公司是中微半导体设备有限公司（amec）的晶圆承载器供应商。据统计，目前国内前三大 led 芯片厂商今年采购的机台里，veeco 和中微半导体各占一半。业内人士评论称，此次禁令可能会让中微损失不少。

美国当地时间2017年12月8日，中微向美国专利商标局（uspto）专利审判和上诉委员会（ptab）递交无效veeco美国专利（us 6，726，769）的请求。该项关于可分离基片托盘技术的专利申请于2001年，此前被veeco 美国公司用于在美国起诉中微的基片托盘供应商专利侵权。中微深信，veeco美国的涉案专利的技术早在60年代起就被大量前置专利明确地公开，因此该专利不符合专利法要求，应属无效。中微除了在美国对该涉案专利提起专利无效请求，还对其中国同族专利和韩国同族专利均提交了专利无效请求。

针对veeco美国起诉中微供应商的的另一个涉案美国专利（us 6，506，252），中微正在准备无效宣告材料，将很快向美国专利审判和上诉委员会提起专利无效请求。

福建高院判决veecoepik700机型在国内禁售，这是国产半导体设备的胜利。正如我们之前评论，中微等国产半导体设备企业崛起的趋势不可避免，veeco等海外企业仅靠专利战无法击败中微。中微以彼之道还施彼身，显示国内半导体设备的创新与技术能力已经不可同日而语。不过需要注意的是，中微一系列动作的诉求也是在与veeco的谈判中多掌握筹码，对于你来我往的专利战，最后的结果还是和解。目前来看，和解的时间点正在接近。

在上游设备商纠纷愈演愈烈的情况下，led芯片行业产能面临考验。对于led芯片行业而言，中微与veeco的纠纷使得各家厂商在新购机台的决策上陷入进退两难的境地，扩产计划可能陷入停顿，如果短期无法和解，行业2018年的大部分扩产计划无法如期进行；同时目前的判决对中微和veeco各自相关机型存量产能皆有影响，行业产能大概率陷入供给不足的状态！

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