除了mocvd，更多micro led生产设备已导入
今年3月，设备商爱思强宣布康佳已订购了其mocvd设备，用于助力康佳基于氮化镓和砷磷材料的mini/micro led的批量生产。
近日，日本半导体设备供应商samco（萨姆肯）也表示，英国厂商micro crystal transfer group及其专业的led和半导体技术团队采用了samco的icp刻蚀系统和pecvd系统，用于康佳的micro led生产。
samco专注于宽禁带半导体材料（如碳化硅和氮化镓）的等离子体工艺技术，其电感耦合等离子体刻蚀和等离子体增强化学气相沉积系统销量高，尤其是在台湾地区的led市场。
目前，samco在台湾地区led制造市场占有近60%的市场份额，在led制造方面积累了丰富的经验、知识和能力。
来源：ledinside
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